光刻机概念股有那些？2023年最新统计，中国A股市场的光刻机概念上市公司一共有9家，其中光刻机龙头股有光华科技、永太科技、西陇科学、胜利精密、同益股份、南大光电等，下面详细介绍。
什么是光刻机概念股？
光刻机概念股是指研发、生产及销售光刻机的上市公司股票。
光刻机又称掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
光刻机龙头股排名：
1、华卓精科（834733）：国内首家自主研发并实现光刻机双工件台商业化生产的企业，主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍生产品的研发、生产以及销售和技术服务，目前属于国家鼓励类产业。
2、万业企业（600641）：全资子公司凯世通采取“领先一步”的策略、采用有国际竞争力的设计理念，着力研制16纳米及以下制程的FinFET集成电路离子注入机，并针对研制低能大束流离子注入机所需要解决的关键技术和技术难点，建立起相应的研发平台、相关核心关键技术及工艺的研究参数数据库和性能检测规范标准。2019年凯世通的低能大束流离子注入机迁机成功，顺利进入离子注入晶圆验证阶段。参股公司上海半导体装备材料基金持有华卓精科2.08%股权。
3、张江高科（600895）：2020年3月，公司在互动平台表示，上海张江浩成创业投资有限公司2016年投资了上海微电子装备有限公司22,345万元，投资比例为10.779%。
4、奥普光电（600338）：公司从事的主要业务为光电测控仪器设备、光学材料和光栅编码器等产品的研发、生产与销售。2020年5月31日互动平台讯，公司大股东长春光机所正在研发更高水平的光刻机曝光系统。
5、赛微电子（300456）：2020年6月，公司在互动易平台披露：公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。ASML为公司商业合作伙伴。公司瑞典与北京分别拥有数台光刻机；瑞典产线2017-2019年产能利用率一直保持在80%以上的高水平
6、晶方科技（603005）：2020年6月，公司在互动平台表示，荷兰光刻机制造商ASML为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一。Anteryon为全球同时拥有混合镜头、晶圆级微型光学器件工艺技术设计、特性材料及量产能力的技术创新公司，其产品可广泛应用于半导体精密设备、工业自动化、汽车、安防、3D传感器为代表的消费类电子等应用领域。
7、上海新阳（300236）：2020年2月，公司在互动易平台表示，中芯国际是公司的主要客户之一。2020年2月，公司在互动易平台披露，公司KRF光刻机能支持96层3D NAND用光刻胶研究，及250nm、130nm工艺制程逻辑电路用光刻胶研究。公司正在加快开发第三大核心技术——光刻技术，在集成电路制造用ArF干法、KrF厚膜胶、I线等高端光刻胶领域已有重大突破。同时，积极布局半导体硅片、半导体湿法工艺设备、平板液晶显示用光刻胶等业务领域。
8、蓝英装备（300293）：公司是全球领先的清洗系统和表面处理设备及解决方案提供商，研发并销售清洗技术应用以及表面处理领域的设备产品、系统和解决方案。在欧洲中高端产品市场占比排名第一，在北美和亚洲也处于市场领先地位。公司是唯一的一家全球性工业清洗设备和服务供应商。在精密清洗业务板块，瑞士子公司UCMAG为医疗、精密光学和高技术行业提供精细清洗系统。
9、福晶科技（002222）：公司是全球最大的 LBO、BBO 晶体供应商，也是全球重要的 Nd：YVO4 晶体供应商，控股子公司青岛海泰光电技术有限公司是国内最大的 KTP 晶体生产商。公司产品已被全球各大激光器公司广泛采用，公司与客户建立了良好的合作关系，在客户中享有良好的声誉，并树立了良好的品牌形象。公司品牌“CASTECH”已在全球激光界树立了高技术、高品质、优服务的市场形象，核心产品被国际业界誉为“中国牌晶体”。
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